Proze?technologie: Fertigungsverfahren F?r Integrierte Mos-Schaltungen

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Proze???technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zun???chst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Struktur???bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu??? daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze??? f???r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem ...

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